1、自動對焦功能。配備激光自動對焦功能，能夠準確對焦，提高測量效率；
2、具有焦點距離切換功能，適用于有凹凸的機械部件與電路板的底部進行測量；
3、多種修正功能。基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正；
4、選用Mo靶材X射線管，測量貴金屬更靈敏；
5、鹵素燈照明；
6、膜厚儀采用檢量線法和FP法，兩個準直器可自動切換，采用激光自動對焦，并配備有Z軸防沖撞傳感器，可防止在對焦時造成的損壞； 7、其支持多種語言的軟件系統(tǒng)。簡體中文、繁體中文、英語、日語、韓語；
8、搭載樣品尺寸的兼容性可適用于各種樣品，能夠通過一臺儀器測量，從電子部件、電路板到機械部件等高度較高的樣品，從較厚的樣品 (機械零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等；
9、即時生成測量報告的便捷性。可以簡單輕松得到制作報告；
10、是搭載了電動Ｘ－Ｙ移動平臺。
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